详解：电容式MEMS麦克风读出电路设计
2016-11-17 07:38:32 点击次数：
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这一原理成立的条件是：在声电转换过程中，必需保持麦克风电容所储电荷量Q 不变，因此需要外加一个稳定的直流电压给电容充电，使之保持恒定的充电状态。这一功能由电荷泵来实现。
2.2 麦克风读出电路结构
电容式MEMS麦克风及其读出电路组成的系统如图1所示。
电荷泵为麦克风提供稳定的直流电压，以保持麦克风电容所储电荷量不变。在此基础上，声压作用于振膜时，将引起麦克风两极板间电压的变化，这个音频范围内的电压小信号Vmic通过麦克风电容Cmic和读出电路的高阻值输入电阻组成的高通滤波器读出。
需要特别指出，背靠背的二极管有三个作用：1）提供高阻值输入电阻，与麦克风电容一起实现低极点频率的高通滤波器，进而实现麦克风小信号的读出;2）为单位增益缓冲器提供直流偏置电压;3）起静电保护作用，在读出电路遭受静电袭击时为其提供低阻直流通路。单位增益缓冲器的作用一是屏蔽麦克风与后续信号处理电路，避免两者之间相互影响，二是提高读出电路的驱动能力。
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