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六种AMOLED技术解析

2016-03-21 09:08:29      点击次数:
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  该技术TFT基板在加工过程中,可采取液晶行业中常见的、成熟的大面积的溅镀成膜的方式,氧化物为InGaO3(ZNO)5,尽管这种器件的电子迁移率较LTPS技术生产出来的产品要低,基本为10 cm2/V-sec,但这个迁移率参数为非晶硅技术器件的10倍以上,该器件电子迁移率完全能够满足AMOLED的电流驱动要求,因此可以应用于OLED 的驱动。

  目前金属氧化物技术还处于实验室验证阶段,世界上没有真正进行过量产的经验,主要的因素是其再现性及长期工作稳定性还需要进一步改善和确认。

  (2)低温多晶硅技术(LTPS TFT)

  该技术是目前世界上唯一经过商业化量产验证、在G4.5代以下生产线相当成熟的AMOLED生产技术。

  该技术和非晶硅技术主要的区别是利用激光晶化的方式,将非晶硅薄膜变为多晶硅,从而将电子迁移率从0.5提高到50-100 cm2/V-s,以满足OLED电流驱动的要求。

  该技术经过多年的商业化量产,产品性能优越,工作稳定性好,同时在这几年的量产中,其良品率已得到很大的提高,达到90%左右,极大的降低了产品成本。

  从以上LTPS的工艺流程可以看出,其和非晶硅技术的主要区别是增加了激光晶化过程和离子注入过程,其它的加工工艺基本相同,设备也和非晶硅生产有相通之处。

  另外,晶化的技术也有很多种,目前小尺寸最常用的是ELA,其它的晶化技术还有:SLS、YLA等,有的公司也在利用其它的技术研发AMOLED的 TFT基板,例如金属诱导晶化技术,也有相应的样品展出,但这一技术的主要问题是金属会导致膜层间的电压击穿,漏电流大,器件稳定性无法保证(由于 AMOLED器件是特别薄的,各层间加工时保证层面干净度,防止电压击穿是重要的一项课题)。大电流电感

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